Сенсорное решение для управления процессом шлифования пластин

Утончение пластин всегда является критическим процессом. Чипы уже присутствуют на пластине, и любой сбой в процессе влияет на производительность и затраты. Тщательный поточный контроль процесса прореживания возможен с использованием контактных датчиков или бесконтактных датчиков, даже в присутствии деионизированной воды. Датчики Marposs помогают получить повторяющуюся окончательную толщину пластины.

Операцию утонения обычно выполняют в два этапа: черновое шлифование и чистовое шлифование. Первый используется для удаления большей части кремния во время чистовой обработки, лишь небольшое его количество удаляется до тех пор, пока не будет достигнута желаемая конечная толщина, обычно менее 100 мкм. Контактный манометр Marposs контролирует этап чернового утонения и благодаря своей прочной конструкции может выдерживать воздействие деионизированной воды без добавления нежелательных загрязнений, которые могут быть опасны для пластины.

То же самое относится и к серии бесконтактных датчиков Marposs, которые особенно полезны на завершающем этапе, когда необходимо соблюдать особую осторожность, чтобы не повредить пластину. Бесконтактное измерение в грязной и влажной среде станка для обратного шлифования затруднено, однако благодаря манометру Marposs это возможно практически независимо от шероховатости пластины и типа утончаемого материала.

Наряду с обеспечением уровня производительности, крайне важно поддерживать производственное оборудование в рабочем состоянии с помощью «превентивных» сигналов тревоги. Использование продуктов Marposs Machine Monitoring. Можно контролировать правку колес и другие вибрации в машине, чтобы убедиться, что машина работает правильно.

Раннее обнаружение механических проблем имеет важное значение для контроля вибрации станка и шпинделя, снижения косвенных затрат, повышения качества и эффективности. Этого можно достичь за счет точной оценки сигналов датчиков (вибрация, температура и, опционально, гравитация). Пределы сигналов тревоги могут быть установлены индивидуально, и если они превысят или упадут ниже этих пределов, можно будет незамедлительно принять определенную реакцию.

Marposs предлагает полный портфель продуктов, которые помогают держать под контролем машины, работающие с полупроводниковыми материалами.

Для получения дополнительной информации: https://www.marposs.com/eng/

ССЫЛКА НА ГЛАВНУЮ СТРАНИЦУ